【公開番号】特開２００９－１２６９０４（Ｐ２００９－１２６９０４Ａ）
【公開日】平成２１年６月１１日（２００９．６．１１）
【発明の名称】ポリマー薄膜およびその製造方法
【国際特許分類】
C08F 8/00 (2006.01) C08J 5/18 (2006.01)
【ＦＩ】
C08F 8/00 C08J 5/18 CET
【審査請求】未請求
【請求項の数】１１
【出願形態】ＯＬ
【全頁数】１７
【出願番号】特願２００７－３０１６６８（Ｐ２００７－３０１６６８）
【出願日】平成１９年１１月２１日（２００７．１１．２１）
【出願人】
【識別番号】５０３３５９８２１
【氏名又は名称】独立行政法人理化学研究所
【住所又は居所】埼玉県和光市広沢２番１号
【出願人】
【識別番号】０００００６６４４
【氏名又は名称】新日鐵化学株式会社
【住所又は居所】東京都千代田区外神田四丁目１４番１号
【代理人】
【識別番号】１１００００３３８
【氏名又は名称】特許業務法人原謙三国際特許事務所
【発明者】
【氏名】国武 豊喜
【住所又は居所】埼玉県和光市広沢２番１号 独立行政法人理化学研究所内
【発明者】
【氏名】渡邊 宏臣
【住所又は居所】埼玉県和光市広沢２番１号 独立行政法人理化学研究所内
【発明者】
【氏名】川辺 正直
【住所又は居所】福岡県北九州市戸畑区大字中原先の浜４６番地の８０ 新日鐵化学株式会社内
【発明者】
【氏名】北島 裕子
【住所又は居所】福岡県北九州市戸畑区大字中原先の浜４６番地の８０ 新日鐵化学株式会社内
【テーマコード（参考）】
4F0714J100
【Ｆターム（参考）】
4F071 AA22 AF53 AH19 4J100 AB02P AB16Q CA04 HA53
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【要約】 （修正有）
【課題】連鎖重合によって硬化する組成物により得られる硬化型ポリマー薄膜を提供する。
【解決手段】多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）を含む組成物を連鎖重合により硬化させてなるポリマー薄膜であって、前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）は、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位およびモノビニル芳香族化合物単量体（ｂ）由来の構造単位を有し、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位を１０モル％以上含有し、かつ、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位の全量の内、式（ａ１）で表される構造単位が５０モル％以上であり、Ｍｎが６００～１００，０００であり、Ｍｗ／Ｍｎが２．０～１００．０であり、ガラス転移温度が２０℃以上である溶剤可溶性の多官能ビニル芳香族共重合体であることを特徴とする、ポリマー薄膜。式（ａ１）
（式中、Ｒ1は炭素数６～３０の芳香族炭化水素基を示す。）
【選択図】なし
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）を含む組成物を連鎖重合により硬化させてなるポリマー薄膜であって、
前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）は、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位およびモノビニル芳香族化合物単量体（ｂ）由来の構造単位を有し、該多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）がジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位を１０モル％以上含有し、かつ、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位の全量の内、式（ａ１）で表される構造単位が５０モル％以上であり、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定されるポリスチレン換算の数平均分子量（Ｍｎ）が６００～１００，０００であり、重量平均分子量（Ｍｗ）とＭｎの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が２．０～１００．０であり、示差走査熱量計（ＤＳＣ）によって測定されるガラス転移温度が２０℃以上である溶剤可溶性の多官能ビニル芳香族共重合体であることを特徴とする、ポリマー薄膜。
式（ａ１）
【化１】
（式中、Ｒ1は炭素数６～３０の芳香族炭化水素基を示す。）
【請求項２】
前記モノビニル芳香族化合物単量体（ｂ）がエチルビニルベンゼンおよび／またはスチレンである、請求項１に記載のポリマー薄膜。
【請求項３】
前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）がその末端の一部にエーテル結合を介した鎖状炭化水素基、エーテル結合を介した芳香族炭化水素基またはアルコール性水酸基を有し、前記エーテル結合及びアルコール性水酸基由来の酸素含有量が０．１～５．０重量％である、請求項１または２に記載のポリマー薄膜。
【請求項４】
膜厚が、１００ｎｍ以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載のポリマー薄膜。
【請求項５】
前記連鎖重合は、ラジカル重合である、請求項１～４のいずれか１項に記載のポリマー薄膜。
【請求項６】
支持体上に、少なくとも、多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）を含む組成物を層状に設け、該層状に設けた組成物中の前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）を連鎖重合して硬化させた後、前記支持体と前記組成物を分離させることを含むポリマー薄膜の製造方法であって、
前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）は、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位およびモノビニル芳香族化合物単量体（ｂ）由来の構造単位を有し、該多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）がジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位を１０モル％以上含有し、かつ、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位の全量の内、式（ａ１）で表される構造単位が５０モル％以上であり、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定されるポリスチレン換算の数平均分子量（Ｍｎ）が６００～１００，０００であり、重量平均分子量（Ｍｗ）とＭｎの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が２．０～１００．０であり、示差走査熱量計（ＤＳＣ）によって測定されるガラス転移温度が２０℃以上である溶剤可溶性の多官能ビニル芳香族共重合体であることを特徴とする、ポリマー薄膜の製造方法。
式（ａ１）
【化２】
（式中、Ｒ1は炭素数６～３０の芳香族炭化水素基を示す。）
【請求項７】
支持体の表面に、犠牲層を設け、該犠牲層の表面に、多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）を含む組成物を層状に設け、該層状に設けた組成物中の前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）を連鎖重合して硬化させた後、前記支持体と前記組成物を分離させることを含むポリマー薄膜の製造方法であって、
前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）は、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位およびモノビニル芳香族化合物単量体（ｂ）由来の構造単位を有し、該多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）がジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位を１０モル％以上含有し、かつ、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位の全量の内、式（ａ１）で表される構造単位が５０モル％以上であり、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定されるポリスチレン換算の数平均分子量（Ｍｎ）が６００～１００，０００であり、重量平均分子量（Ｍｗ）とＭｎの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が２．０～１００．０であり、示差走査熱量計（ＤＳＣ）によって測定されるガラス転移温度が２０℃以上である溶剤可溶性の多官能ビニル芳香族共重合体であることを特徴とする、ポリマー薄膜の製造方法。
式（ａ１）
【化３】
（式中、Ｒ1は炭素数６～３０の芳香族炭化水素基を示す。）
【請求項８】
前記連鎖重合は、ラジカル重合である、請求項６または７に記載のポリマー薄膜の製造方法。
【請求項９】
前記組成物は、さらに、ラジカル重合開始剤を含む、請求項６～８のいずれか１項に記載のポリマー薄膜の製造方法。
【請求項１０】
前記犠牲層の除去は、該犠牲層を溶解することにより行う、請求項６～９のいずれか１項に記載のポリマー薄膜の製造方法。
【請求項１１】
前記成物は、スピンコーティング法またはディップコーティング法により、前記支持体上に層状に設ける、請求項６～１０のいずれか１項に記載のポリマー薄膜の製造方法。
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