ポリマー薄膜およびその製造方法

 

【公開番号】特開２００９－１２６９０４（Ｐ２００９－１２６９０４Ａ）
【公開日】平成２１年６月１１日（２００９．６．１１）
【発明の名称】ポリマー薄膜およびその製造方法
【国際特許分類】

   C08F   8/00     (2006.01)   C08J   5/18     (2006.01)
【ＦＩ】

   C08F  8/00            C08J  5/18    CET 
【審査請求】未請求
【請求項の数】１１
【出願形態】ＯＬ
【全頁数】１７
【出願番号】特願２００７－３０１６６８（Ｐ２００７－３０１６６８）
【出願日】平成１９年１１月２１日（２００７．１１．２１）
【出願人】
【識別番号】５０３３５９８２１
【氏名又は名称】独立行政法人理化学研究所
【住所又は居所】埼玉県和光市広沢２番１号
【出願人】
【識別番号】０００００６６４４
【氏名又は名称】新日鐵化学株式会社
【住所又は居所】東京都千代田区外神田四丁目１４番１号
【代理人】
【識別番号】１１００００３３８
【氏名又は名称】特許業務法人原謙三国際特許事務所
【発明者】
【氏名】国武 豊喜
【住所又は居所】埼玉県和光市広沢２番１号 独立行政法人理化学研究所内
【発明者】
【氏名】渡邊 宏臣
【住所又は居所】埼玉県和光市広沢２番１号 独立行政法人理化学研究所内
【発明者】
【氏名】川辺 正直
【住所又は居所】福岡県北九州市戸畑区大字中原先の浜４６番地の８０ 新日鐵化学株式会社内
【発明者】
【氏名】北島 裕子
【住所又は居所】福岡県北九州市戸畑区大字中原先の浜４６番地の８０ 新日鐵化学株式会社内
【テーマコード（参考）】

4F0714J100
【Ｆターム（参考）】

4F071 AA22 AF53 AH19 4J100 AB02P AB16Q CA04 HA53

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【要約】　　　（修正有）
【課題】連鎖重合によって硬化する組成物により得られる硬化型ポリマー薄膜を提供する。
【解決手段】多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）を含む組成物を連鎖重合により硬化させてなるポリマー薄膜であって、前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）は、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位およびモノビニル芳香族化合物単量体（ｂ）由来の構造単位を有し、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位を１０モル％以上含有し、かつ、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位の全量の内、式（ａ１）で表される構造単位が５０モル％以上であり、Ｍｎが６００～１００，０００であり、Ｍｗ／Ｍｎが２．０～１００．０であり、ガラス転移温度が２０℃以上である溶剤可溶性の多官能ビニル芳香族共重合体であることを特徴とする、ポリマー薄膜。式（ａ１）

 

（式中、Ｒ1は炭素数６～３０の芳香族炭化水素基を示す。）
【選択図】なし

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）を含む組成物を連鎖重合により硬化させてなるポリマー薄膜であって、
前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）は、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位およびモノビニル芳香族化合物単量体（ｂ）由来の構造単位を有し、該多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）がジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位を１０モル％以上含有し、かつ、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位の全量の内、式（ａ１）で表される構造単位が５０モル％以上であり、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定されるポリスチレン換算の数平均分子量（Ｍｎ）が６００～１００，０００であり、重量平均分子量（Ｍｗ）とＭｎの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が２．０～１００．０であり、示差走査熱量計（ＤＳＣ）によって測定されるガラス転移温度が２０℃以上である溶剤可溶性の多官能ビニル芳香族共重合体であることを特徴とする、ポリマー薄膜。
式（ａ１）
【化１】

 

（式中、Ｒ1は炭素数６～３０の芳香族炭化水素基を示す。）
【請求項２】
前記モノビニル芳香族化合物単量体（ｂ）がエチルビニルベンゼンおよび／またはスチレンである、請求項１に記載のポリマー薄膜。
【請求項３】
前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）がその末端の一部にエーテル結合を介した鎖状炭化水素基、エーテル結合を介した芳香族炭化水素基またはアルコール性水酸基を有し、前記エーテル結合及びアルコール性水酸基由来の酸素含有量が０．１～５．０重量％である、請求項１または２に記載のポリマー薄膜。
【請求項４】
膜厚が、１００ｎｍ以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載のポリマー薄膜。
【請求項５】
前記連鎖重合は、ラジカル重合である、請求項１～４のいずれか１項に記載のポリマー薄膜。
【請求項６】
支持体上に、少なくとも、多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）を含む組成物を層状に設け、該層状に設けた組成物中の前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）を連鎖重合して硬化させた後、前記支持体と前記組成物を分離させることを含むポリマー薄膜の製造方法であって、
前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）は、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位およびモノビニル芳香族化合物単量体（ｂ）由来の構造単位を有し、該多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）がジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位を１０モル％以上含有し、かつ、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位の全量の内、式（ａ１）で表される構造単位が５０モル％以上であり、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定されるポリスチレン換算の数平均分子量（Ｍｎ）が６００～１００，０００であり、重量平均分子量（Ｍｗ）とＭｎの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が２．０～１００．０であり、示差走査熱量計（ＤＳＣ）によって測定されるガラス転移温度が２０℃以上である溶剤可溶性の多官能ビニル芳香族共重合体であることを特徴とする、ポリマー薄膜の製造方法。
式（ａ１）
【化２】

 

（式中、Ｒ1は炭素数６～３０の芳香族炭化水素基を示す。）
【請求項７】
支持体の表面に、犠牲層を設け、該犠牲層の表面に、多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）を含む組成物を層状に設け、該層状に設けた組成物中の前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）を連鎖重合して硬化させた後、前記支持体と前記組成物を分離させることを含むポリマー薄膜の製造方法であって、
前記多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）は、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位およびモノビニル芳香族化合物単量体（ｂ）由来の構造単位を有し、該多官能ビニル芳香族共重合体（Ａ）がジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位を１０モル％以上含有し、かつ、ジビニル芳香族化合物単量体（ａ）由来の構造単位の全量の内、式（ａ１）で表される構造単位が５０モル％以上であり、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定されるポリスチレン換算の数平均分子量（Ｍｎ）が６００～１００，０００であり、重量平均分子量（Ｍｗ）とＭｎの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が２．０～１００．０であり、示差走査熱量計（ＤＳＣ）によって測定されるガラス転移温度が２０℃以上である溶剤可溶性の多官能ビニル芳香族共重合体であることを特徴とする、ポリマー薄膜の製造方法。
式（ａ１）
【化３】

 

（式中、Ｒ1は炭素数６～３０の芳香族炭化水素基を示す。）
【請求項８】
前記連鎖重合は、ラジカル重合である、請求項６または７に記載のポリマー薄膜の製造方法。
【請求項９】
前記組成物は、さらに、ラジカル重合開始剤を含む、請求項６～８のいずれか１項に記載のポリマー薄膜の製造方法。
【請求項１０】
前記犠牲層の除去は、該犠牲層を溶解することにより行う、請求項６～９のいずれか１項に記載のポリマー薄膜の製造方法。
【請求項１１】
前記成物は、スピンコーティング法またはディップコーティング法により、前記支持体上に層状に設ける、請求項６～１０のいずれか１項に記載のポリマー薄膜の製造方法。

 

 

 

フィルム状接着剤、それを用いた半導体パッケージ、及びその製造方法

【公開番号】特開２００９－１４９７２７（Ｐ２００９－１４９７２７Ａ）
【公開日】平成２１年７月９日（２００９．７．９）
【発明の名称】フィルム状接着剤、それを用いた半導体パッケージ、及びその製造方法
【国際特許分類】

   C09J   7/00     (2006.01)   C09J 163/00     (2006.01)   H01L  21/301    (2006.01)   C09J  11/04     (2006.01)   C09J  11/06     (2006.01)   H01L  21/52     (2006.01)
【ＦＩ】

   C09J  7/00            C09J163/00            H01L 21/78        M   C09J 11/04            C09J 11/06            H01L 21/52        D
【審査請求】未請求
【請求項の数】６
【出願形態】ＯＬ
【全頁数】１３
【出願番号】特願２００７－３２７２６４（Ｐ２００７－３２７２６４）
【出願日】平成１９年１２月１９日（２００７．１２．１９）
【出願人】
【識別番号】０００００６６４４
【氏名又は名称】新日鐵化学株式会社
【住所又は居所】東京都千代田区外神田四丁目１４番１号
【代理人】
【識別番号】１００１０７１９１
【弁理士】
【氏名又は名称】長濱 範明
【発明者】
【氏名】森田 稔
【住所又は居所】千葉県木更津市新港１５番１ 新日鐵化学株式会社内
【発明者】
【氏名】太地 英一
【住所又は居所】千葉県木更津市新港１５番１ 新日鐵化学株式会社内
【発明者】
【氏名】切替 徳之
【住所又は居所】千葉県木更津市新港１５番１ 新日鐵化学株式会社内
【テーマコード（参考）】

4J0044J0405F047
【Ｆターム（参考）】

4J004 AA13 BA02 FA05 FA08 4J040 EC001 EC061 EC071 EC171 EH012 GA11 GA14 HA306 HC15 HD30 KA03 KA16 KA23 KA25 KA29 KA35 KA36 KA38 LA08 NA20 5F047 AA17 BA34 BB19

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【要約】　　　（修正有）
【課題】空気の巻き込みや樹脂のはい上がり等の不良を十分に防止しつつ、半導体素子を配線基板に搭載することを可能とすると共に、半導体素子を配線基板に搭載することが可能な温度範囲を広げることを可能とするフィルム状接着剤を提供すること。
【解決手段】接着剤組成物をフィルム状に成形してなるフィルム状接着剤であって、前記接着剤組成物が、（Ａ）エポキシ樹脂、（Ｂ）シリカ、（Ｃ）エポキシ樹脂硬化剤及び（Ｄ）有機溶剤を含有するものであり、前記接着剤組成物中の前記（Ｂ）シリカの含有比率が固形分換算で１０～５０質量％の範囲内にあり、前記（Ｃ）エポキシ樹脂硬化剤が前記（Ｄ）有機溶剤に対する耐性及び１５０℃以上の融点を有するものであり、且つ、前記フィルム状接着剤が、室温から１０℃／分の昇温速度で昇温した場合における測定温度と溶融粘度との関係が特定の条件を満たすものであることを特徴とするフィルム状接着剤。
【選択図】なし

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤組成物をフィルム状に成形してなるフィルム状接着剤であって、
前記接着剤組成物が、（Ａ）エポキシ樹脂、（Ｂ）シリカ、（Ｃ）エポキシ樹脂硬化剤及び（Ｄ）有機溶剤を含有するものであり、前記接着剤組成物中の前記（Ｂ）シリカの含有比率が固形分換算で１０～５０質量％の範囲内にあり、前記（Ｃ）エポキシ樹脂硬化剤が前記（Ｄ）有機溶剤に対する耐性及び１５０℃以上の融点を有するものであり、且つ、
前記フィルム状接着剤が、室温から１０℃／分の昇温速度で昇温した場合における測定温度と溶融粘度との関係が下記条件（i）及び（ii）：
（i）溶融粘度（η）が最低となる最低溶融粘度（ηｍｉｎ）が１０～１０００Ｐａ・ｓの範囲内にあること、
（ii）溶融粘度（η）が下記数式（Ｆ１）：
η ≦ ηｍｉｎ × １．１ 〔Ｐａ・ｓ〕 ・・・（Ｆ１）
で表される条件を満たす粘度安定温度領域に入る温度（Ｔ１）と前記粘度安定温度領域を出る温度（Ｔ２）とが下記数式（Ｆ２）及び（Ｆ３）：
７０ ≦ Ｔ１ ≦ １２０ 〔℃〕 ・・・（Ｆ２）
１０ ≦ Ｔ２ － Ｔ１ 〔℃〕 ・・・（Ｆ３）
で表される条件を満たすこと、
を満たすものであることを特徴とするフィルム状接着剤。
【請求項２】
前記（Ｃ）エポキシ樹脂硬化剤が下記一般式（１）：
【化１】

 

（式（１）中、ｎは１～１０の整数を表す。）
で表されるヒドラジド化合物であることを特徴とする請求項１に記載のフィルム状接着剤。
【請求項３】
前記接着剤組成物が（Ｅ）粘度調整剤として界面活性剤を更に含有することを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルム状接着剤。
【請求項４】
前記フィルム状接着剤の厚みが１０～１５０μｍの範囲であることを特徴とする請求項１～３のうちのいずれか一項に記載のフィルム状接着剤。
【請求項５】
少なくとも一つの半導体素子が形成されたウェハの裏面に請求項１～４のうちのいずれか一項に記載のフィルム状接着剤を形成し、その後前記フィルム状接着剤の表面にダイシングテープを貼り合せた後に、前記フィルム状接着剤と前記ウェハとを同時にダイシングすることにより接着剤付き半導体素子を得る工程と、前記接着剤付き半導体素子をダイシングテープから剥がし被着体である配線基板とダイアタッチする工程とを含むことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の半導体パッケージの製造方法により得られるものであることを特徴とする半導体パッケージ。

 

 

 

 

 

コークス押出し負荷の評価方法及び装置

公開番号】特開２００９－１６７２２６（Ｐ２００９－１６７２２６Ａ）
【公開日】平成２１年７月３０日（２００９．７．３０）
【発明の名称】コークス押出し負荷の評価方法及び装置
【国際特許分類】

   C10B  41/02     (2006.01)   C10B  33/08     (2006.01)
【ＦＩ】

   C10B 41/02            C10B 33/08        
【審査請求】未請求
【請求項の数】９
【出願形態】ＯＬ
【全頁数】１７
【出願番号】特願２００８－３３８４（Ｐ２００８－３３８４）
【出願日】平成２０年１月１０日（２００８．１．１０）
【出願人】
【識別番号】０００００６６５５
【氏名又は名称】新日本製鐵株式会社
【住所又は居所】東京都千代田区大手町２丁目６番３号
【代理人】
【識別番号】１０００９９７５９
【弁理士】
【氏名又は名称】青木 篤
【代理人】
【識別番号】１０００７７５１７
【弁理士】
【氏名又は名称】石田 敬
【代理人】
【識別番号】１０００８７４１３
【弁理士】
【氏名又は名称】古賀 哲次
【代理人】
【識別番号】１００１１３９１８
【弁理士】
【氏名又は名称】亀松 宏
【代理人】
【識別番号】１００１４０１２１
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 朝幸
【代理人】
【識別番号】１００１１１９０３
【弁理士】
【氏名又は名称】永坂 友康
【発明者】
【氏名】中川 朝之
【住所又は居所】東京都千代田区大手町二丁目６番３号 新日本製鐵株式会社内
【発明者】
【氏名】有馬 孝
【住所又は居所】東京都千代田区大手町二丁目６番３号 新日本製鐵株式会社内
【発明者】
【氏名】福田 耕一
【住所又は居所】東京都千代田区大手町二丁目６番３号 新日本製鐵株式会社内

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【要約】
【課題】コ－クス押出し時に炭化室の炉壁が炉幅方向に変位した場合に、また、凹凸が炉壁の長手方向に複数点在している場合に、それらが押出し負荷にどのように影響しているかを定量的に評価でき、さらに、局所集中荷重が発生し易い凹凸部位の荷重分布が時間的に連続して定量的に評価できるようにする。
【解決手段】左右の側壁間に配置された試験用のコークスを、側壁に沿って一方から他方に向けて押出す際、コークスに反力を作用させながら押出すとともに、左右の側壁を、一定以上の力が加わるとコークスケーキの押出し方向と垂直に変位するようにして押出し、コークスが移動するときの左右の側壁にかかる力、押出す際の押出し力、反力を作用する際の受力をそれぞれ測定し、これらの測定値と前記反力の値に基づいて左右の側壁が変位する場合の押出し負荷を評価する。
【選択図】図１

 

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
左右の側壁間に配置された試験用のコークスを、側壁に沿って一方から他方に向けて押出し、押出す際の左右の側壁にかかる力を測定してコークス押出し負荷を評価する方法において、コ－クスを押出す際、コークスに反力を作用させながら押出すとともに、左右の側壁の少なくとも一方を、一定以上の力が加わるとコークスケーキの押出し方向と垂直の方向に変位するようにして押出し、コークスが移動するときの左右の側壁にかかる力、押出す際の押出し力、反力を作用する際の受力をそれぞれ測定し、これらの測定値と前記反力の値に基づいて左右の側壁が変位する場合の押出し負荷を評価することを特徴とするコークス押出し負荷の評価方法。
【請求項２】
少なくとも一方の側壁に突起を設け、さらに、コークスが該突起を乗り越える際の押出し負荷を評価することを特徴とする請求項１に記載のコークス押出し負荷の評価方法。
【請求項３】
コークスを押出す際、コークス上に荷重を積載して押出すようにし、前記測定値と前記反力の値のほかに、該荷重をさらに加えて押出し負荷を評価することを特徴とする請求項１または２に記載のコークス押出し負荷の評価方法。
【請求項４】
前記側壁とコークスとの間に、検出領域内の任意の位置での荷重の変化を時間的に連続して測定できるシート状の荷重検出手段を配設し、該シート状の荷重検出手段によって、側壁にかかる力の分布と任意の位置での荷重の変化を時間的に連続して測定し、前記測定値と前記反力の値のほかに、該シート状の荷重検出手段の測定結果をさらに加えて押出し負荷を評価することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のコークス押出し負荷の評価方法。
【請求項５】
コークス押出し方向に間隔を置いて設置された前後の支持体と、
前記前後の支持体の一方の側に配置された押出し手段と、
前記前後の支持体の他方の側に配置され、押出し手段の押出し方向に対向する方向に反力を作用させる反力付与手段と、
前記前後の支持体間に間隔を置いて対向配置された左右の支持体と
前記左右の支持体に互いに対向するようにそれぞれ支持され、かつ、対向方向に移動可能に支持された左右の中間可動壁と、
前記中間可動壁に設定値以上の力が作用した際に、中間可動壁を移動させるための手段と、
内側にコークス押出し空間を形成するように前記中間可動壁にそれぞれ対向して配置され、対向方向には移動でき、コークス押出し方向には移動できないように設置された左右の側壁と、
前記左右の側壁間に配置された試験用のコークスを囲むように、その押出し方向前後に配置され、前記左右の側壁間の間隔よりも小さい幅を有する前後の可動壁と、
前記中間可動壁と前記側壁との間、前記押出し手段と前記可動壁との間、及び前記反力付与手段と前記可動壁との間にそれぞれ設置された荷重検出手段、
とを備えることを特徴とするコークス押出し負荷の評価装置。
【請求項６】
少なくとも一方の前記側壁のコークスと対向する面に、対向する面から連続する斜面を有する突起が設置されていることを特徴とする請求項５に記載のコークス押出し負荷の評価装置。
【請求項７】
前記突起が、位置を任意に変更できるように側壁に設置されていることを特徴とする請求項６に記載のコークス押出し負荷の評価装置。
【請求項８】
前記コークスと左右の側壁の間に、検出領域内の任意の位置での荷重の変化を時間的に連続して測定できるシート状の荷重検出手段がさらに配設されていることを特徴とする請求項５～７のいずれか１項に記載のコークス押出し負荷の評価装置。
【請求項９】
前記コークス上に積載される荷重をさらに備えることを特徴とする請求項５～８のいずれか１項に記載のコークス押出し負荷の評価装置。

床衝撃音レベルを低減できるパネル床構造

公開番号】特開２００９－１６７６４０（Ｐ２００９－１６７６４０Ａ）
【公開日】平成２１年７月３０日（２００９．７．３０）
【発明の名称】床衝撃音レベルを低減できるパネル床構造
【国際特許分類】

   E04F  15/20     (2006.01)   E04F  15/18     (2006.01)   E04F  15/00     (2006.01)
【ＦＩ】

   E04F 15/20            E04F 15/18    601 J   E04F 15/00    101 
【審査請求】未請求
【請求項の数】５
【出願形態】ＯＬ
【全頁数】１０
【出願番号】特願２００８－４９２３（Ｐ２００８－４９２３）
【出願日】平成２０年１月１１日（２００８．１．１１）
【出願人】
【識別番号】０００００６６５５
【氏名又は名称】新日本製鐵株式会社
【住所又は居所】東京都千代田区大手町２丁目６番３号
【代理人】
【識別番号】１１００００６３７
【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所
【発明者】
【氏名】中安 誠明
【住所又は居所】東京都千代田区大手町二丁目６番３号 新日本製鐵株式会社内
【発明者】
【氏名】半谷 公司
【住所又は居所】東京都千代田区大手町二丁目６番３号 新日本製鐵株式会社内
【テーマコード（参考）】

2E220
【Ｆターム（参考）】

2E220 AA19 AA35 AA39 AA51 AB06 AC03 CA07 CA14 CA23 EA11 GA07Y GA25X GA25Y GB02Y GB39Y GB43X GB46X

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【要約】
【課題】パネル構造で床面を形成する建物において、階下への床衝撃音レベルを低減できるパネル床構造を提供すること。
【解決手段】全体略矩形状に形成された下側面材４および上側面材３からなる一対の面材、この一対の面材の間に互いに略平行に一定ピッチ間隔で配置され、上側面材３および下側面材４に接合される複数の支持材２、を有するパネル床５を備える。上側面材３および支持材２の接合部分の上方における当該上側面材３の表面の複数箇所に支持脚６を立設させる。これら支持脚６に床材７を支持させる。従って、床材７表面の任意の位置で発生した床衝撃音を支持脚６を介して支持材２に直接に伝搬させることができ、階下に伝搬される床衝撃音レベルを低減させることができる。
【選択図】図１

 

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
大梁と小梁及び／又は梁と根太の横架材をグリッド状に組んだ床構造に配設可能なパネル床構造において、
上下一対の面材および当該一対の面材間に配置される複数の支持材を有したパネル床と、前記パネル床の上側に複数の支持脚を介して支持される床材と、を備え、
前記パネル床は、全体略矩形状に形成された下側面材および上側面材からなる前記一対の面材の間に互いに略平行に配置された前記支持材によって、前記上側面材と前記下側面材とが互いに接合されて構成され、
前記支持脚は、前記上側面材および前記支持材の接合部分の上方における当該上側面材の表面の複数箇所に立設されていることを特徴とするパネル床構造。
【請求項２】
大梁と小梁及び／又は梁と根太の横架材をグリッド状に組んだ床構造に配設可能なパネル床構造において、
上下一対の面材および当該一対の面材間に配置される波板材を有したパネル床と、前記パネル床の上側に複数の支持脚を介して支持される床材と、を備え、
前記パネル床は、全体略矩形状に形成された下側面材および上側面材からなる前記一対の面材の間に交互に配置される谷部および山部を有する前記波板材によって、前記下側面材が前記谷部に接合され、前記上側面材が前記山部に接合されて構成され、
前記支持脚は、前記上側面材および前記山部の接合部分の上方における当該上側面材の表面の複数箇所に立設されていることを特徴とするパネル床構造。
【請求項３】
大梁と小梁及び／又は梁と根太の横架材をグリッド状に組んだ床構造に配設可能なパネル床構造において、
上下一対の面材および当該一対の面材間に配置される複数の支持材を有したパネル床の代替として、垂直又は傾斜して配置される板状のウェブと、前記ウェブの上端部から第１の方向に延長される板状の上フランジと、前記ウェブの下端部から第１の方向と逆方向に延長される板状の下フランジとを有する複数のパネル用構造材が、前記各上フランジ同士並びに前記各下フランジ同士が略同一平面を形成するように略同一の配向状態をもって隣接配置されて連結されてなるパネル床と、
前記パネル床の上側に複数の支持脚を介して支持される床材と、を備え、
前記支持脚は、前記上フランジおよび前記ウェブの交差部分における当該上フランジの表面の複数箇所に立設されていることを特徴とするパネル床構造。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載のパネル床構造において、
前記パネル床は、鋼製であることを特徴とするパネル床構造。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載のパネル床構造において、
前記上側面材の表面と前記支持脚との間には、防振部材が設けられていることを特徴とするパネル床構造。

 

酸化物超伝導マグネット及びその製造方法、並びに冷却方法

公開番号】特開２００９－１７０５５０（Ｐ２００９－１７０５５０Ａ）
【公開日】平成２１年７月３０日（２００９．７．３０）
【発明の名称】酸化物超伝導マグネット及びその製造方法、並びに冷却方法
【国際特許分類】

   H01F   6/04     (2006.01)   H01F   6/00     (2006.01)
【ＦＩ】

   H01F  7/22        G   H01F  7/22        C
【審査請求】未請求
【請求項の数】８
【出願形態】ＯＬ
【全頁数】１４
【出願番号】特願２００８－４９８５（Ｐ２００８－４９８５）
【出願日】平成２０年１月１１日（２００８．１．１１）
【出願人】
【識別番号】０００００６６５５
【氏名又は名称】新日本製鐵株式会社
【住所又は居所】東京都千代田区大手町２丁目６番３号
【代理人】
【識別番号】１０００９０２７３
【弁理士】
【氏名又は名称】國分 孝悦
【発明者】
【氏名】森田 充
【住所又は居所】東京都千代田区大手町二丁目６番３号 新日本製鐵株式会社内

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【要約】
【課題】冷却効率が高く強磁場発生が可能な高性能マグネット、その製造方法及びその冷却方法を提供できるようにする。
【解決手段】単結晶状のREBa2Cu3O7-x相（REはYを含む希土類元素及びそれらの組合せ、ｘは酸素欠損量）中に非超伝導相が微細分散した組織を有する酸化物超伝導体からなるコイルを有する酸化物超伝導マグネットであって、冷却媒体が通過する流路をコイル平面と平行に有することにより、超伝導マグネット内で発生する熱を効率よく抜熱でき、超伝導導体の温度を低温に保ち、高特性を維持する。
【選択図】図１

 

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶状のREBa2Cu3O7-x相（REはYを含む希土類元素又はこれらの組合せ、xは酸素欠損量）中に非超伝導相が微細分散した組織を有する酸化物超伝導体からなるコイルを有する酸化物超伝導マグネットであって、前記コイルが複数積層されており、前記複数積層されたコイル間に冷媒が通過できる流路を有し、前記流路の少なくとも１つが前記組織を有する酸化物超伝導体からなる連続したコイルが形成する平面に平行に存在することを特徴とする酸化物超伝導マグネット。
【請求項２】
前記流路を構成する流路層が、前記複数積層された酸化物超伝導体からなるコイル間に配置され、マグネットとして一体化されていることを特徴とする請求項１に記載の酸化物超伝導マグネット。
【請求項３】
前記流路が繊維強化プラスチックから構成され、前記繊維強化プラスチックの繊維方向が、前記コイルが形成する平面に平行に存在し、前記繊維方向の熱膨張係数が８×１０-6～１５×１０-6Ｋ-1であることを特徴とする請求項１又は２に記載の酸化物超伝導マグネット。
【請求項４】
前記流路がコイルの径方向に放射状に存在することを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載の酸化物超伝導マグネット。
【請求項５】
請求項１～４のいずれか１項に記載の酸化物超伝導マグネットを製造する方法であって、酸化物超伝導体からなる積層したコイル間に樹脂を挿入し、真空又は減圧樹脂含浸をした後、前記流路を前記積層したコイル間に冷媒が通過できる流路を形成することを特徴とする酸化物超伝導マグネットの製造方法。
【請求項６】
前記積層したコイル間に、内部に流路が形成された流路層をその開口部を塞いだ状態で積層し、樹脂含浸後に前記塞がれた開口部を開口することを特徴とする請求項５に記載の酸化物超伝導マグネットの製造方法。
【請求項７】
前記流路層の材質が繊維強化プラスチックであることを特徴とする請求項６に記載の酸化物超伝導マグネットの製造方法。
【請求項８】
請求項１～４のいずれか１項に記載の酸化物超伝導マグネットに形成された流路に、液体窒素、液体酸素、液体ネオン、液体水素及び液体ヘリウムのうち、１種又は２種以上を通流して前記酸化物超伝導マグネットを冷却することを特徴とする冷却方法。